中国製EUV露光装置開発の進捗:実態と展望
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中国製EUV露光装置開発の進捗:実態と展望

中国が先端半導体製造に不可欠なEUV露光装置の開発を進める中、その実態は依然として不透明である。 技術的課題や西側諸国の輸出規制が障壁となる一方、一部では2030年実用化の目標も示されている。

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